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                            A、玻璃行業專用碳化硅電熱元件
                            B、玻璃纖維坩堝爐專用硅碳棒
                            C、氮化硅燒結爐專用碳化硅電熱元件
                            D、通用型碳化硅電熱元件
                            E、抗腐蝕粗端部硅碳棒

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                            硅碳棒分解爐工藝參數的影響
                            硅烷流量的影響
                              將分解爐內的壓力設定為0. 3 MPa、硅碳棒溫度設定為700 ℃、硅烷流量的變化范圍為0. 7-4. 4 kg/h,計算分解爐的異相硅的沉積速率、總體能耗、出口處流出的未反應的硅烷的質量流量、出口處硅粉的流量。
                              圖2和圖3為不同硅烷流量下,硅收率、硅烷比和硅粉比計算結果,由圖3可知,隨著硅烷流量的變化,硅粉比始終在2%以下,且隨著硅烷流量增大而略有減小;出口硅烷質量比隨著硅烷流量增大,更多比例的硅烷未經反應而從出口排出,當硅烷流量為1. 45 kg/h時,5%的硅烷未經反應從出口排出,當硅烷流量為4.36 kg/h時,1000的硅烷未經反應從出口排出,此時出口硅烷濃度較高;圖2可見,在計算范圍內硅收率隨硅烷流量增大而略有降低,但是始終保持在88%以上。
                              如圖4所示,單位能耗隨硅烷流量的增大而逐漸減小,在硅烷流量小于2. 2 kg/h時,單位能耗隨硅烷流量的增加減小較快;當硅烷流量大于2. 2 kg/h以后,硅烷流量增加對單位能耗作用微弱,并且單位能耗均低于100 kW·h/kg。
                              急的來說,硅烷流量的增大可以降低單位能耗,但會造成大量未分解的硅烷從出氣口排出,成為硅烷流量增大的一個限制條件。
                            溫度的影響
                              將壓力固定為0. 3 MPa,硅烷流量固定為 2. 2 kg/h,硅碳棒加載的溫度變化范圍為550 -1000℃,考察不同棒溫對分解過程各個指標的影響。
                                圖5為不同溫度下,硅收率、硅烷比和硅粉比的變化情況。硅收率隨著溫度升高先升后降。硅碳棒溫度較低時,異相反應速率較低,導致硅碳棒沉積量少,同時大量硅烷未來得及反應,隨尾氣排出,因此分解爐內硅碳棒溫度不能過低;硅碳棒溫度較高時,硅烷基本完全反應,但是分解爐中空間溫度較高,硅烷均相反應劇烈,導致硅粉大量產生。溫度在750℃時硅收率取得最大值9600,此時出口硅烷比和硅粉比均很小。
                              圖6為不同溫度下單位能耗的變化情況。在溫度低于600℃時,雖然能耗較低,但是由于硅收率很低,導致單位能耗較高;當溫度高于650℃時,能耗的增長速度超過硅收率的增長速度,單位能耗迅速增長。單位能耗在600-650℃之間取得了最低點。http://www.gold-tipper.com/
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